国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“一种真空冷却暂存机构以及薄膜沉积设备”的专利，授权公告号CN223823677U，申请日期为2025年2月。

{jz:field.toptypename/}

专利摘要显示，本实用新型公开了一种真空冷却暂存机构以及薄膜沉积设备，涉及半导体设备技术领域。该真空冷却暂存机构包括暂存仓、密封闸阀、储存盒、抽真空组件和冷却模组。抽真空组件与暂存仓连接，储存盒设置于暂存仓内，暂存仓开设有传输口，密封闸阀用于封闭或者打开传输口，冷却模组与暂存仓连接，冷却模组用于对暂存仓进行冷却。与现有技术相比，本实用新型提供的真空冷却暂存机构由于采用了与暂存仓连接的抽真空组件以及安装于暂存仓的密封闸阀，所以能够保证暂存仓的洁净度，避免其受传输仓的影响，并且能够直接将暂存仓内的气体抽出，米兰快速带走晶圆散发的热量，冷却效率高。

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目54次，财产线索方面有商标信息87条，专利信息585条，此外企业还拥有行政许可69个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

• 米兰
• 去的
• 味道
• 冷却
• 纳米